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單成分化學品

品名	化學式	電子等級	應用
異丙醇	CH3CH(OH)CH3	EL~UPS	製程清洗
PMA	C6H12O3	EL~UPS	光阻清洗
EBR	C4H10O2+C6H12O3	EL~UPS	光阻清洗
雙氧水	H2O2	EL~UPS	蝕刻清洗
丙酮	C3H6O	EL~UPS	製程清洗

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